甲硅烷

甲硅烷

甲硅烷
silane
CAS号：7803-62-5
分子式：H4Si
分子量：32.11730
密度：1.114
沸点：-112ºC
熔点：-185ºC

甲硅烷，又名四氢化硅，化学式为SiH4，是一种硅烷。甲硅烷的结构与甲烷相似，呈正四面体结构。

广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域，其主要用做生产液晶TFT、太阳能电池、半导体、感光体材料等。

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